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全球今日报丨倍福 XPlanar 平面磁悬浮输送系统助力实现无磨损晶圆输送

XPlanar助力实现无磨损晶圆输送XPlanar系统是一款集传统输送技术诸多优点于一身的平面磁悬浮产品输送系统，可在半导体设备制造中为在一个工具

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